单载流子光电探测器的高速及高饱和功率的研究

• 作者: 左玉华 张万昌 张岭梓 成步文 曹学蕾 曹权 王启明 薛春来
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: UTC探测器 空间电荷效应 高频 高饱和
• 年，卷（期）: 2012,（13）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 505-510
• 分类号: TN215
• 字数: 4177字
• 语种: 中文

摘要

利用载流子漂移-扩散模型,模拟并分析了InGaAs/InP单载流子光电探测器（Uni-traveling-carrier/UTC-PD）在不同条件下的物理特性及其带宽和饱和特性,结合器件实验结果分析了影响器件高速和高饱和性能的物理机理.结论表明在吸收区采用浓度渐变掺杂和增加InP崖层（cliff layer）,可以显著提升器件饱和特性,高入射功率下吸收区电场崩塌是器件饱和的直接因素,直径大于20μm的UTC探测器中RC常数仍是影响带宽的主要因素.论文指出了优化器件结构、提升器件性能的有效方法.