紫外光对聚合物表面微区域修饰诱导银选择性沉积制备微米级金属图案

• 作者: 吴仲岿 唐红肖 李少英 杨军
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: PET基片 真空紫外光刻 图案化 选择性 无电解镀银
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 99-103
• 分类号: TG174.442
• 字数: 3709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2012.01.018

摘要

采用波长为172 nm的真空紫外光刻蚀技术(VUV)对清洗后的PET基片表面性质直接进行微加工,并在其表面上进行选择性无电解镀银处理.通过对紫外光照处理前后的PET基片进行水接触角测试、XPS测试,表征了PET基片在处理前后所具有的不同表面状态.将在真空条件下通过紫外光选择性刻蚀的的PET基片放在化学镀银液中,被还原出来的金属银颗粒就会沉积在PET基片上的被辐射区域.利用光学显微镜和场发射SEM观察镀银后PET基片表面的微银图案.结果表明:紫外光照可使PET基片表面改性,利用真空紫外光刻蚀技术(VUV)对PET基片表面进行区域选择性改性,就可以实现无电解电镀银在PET基片上的选择性沉积,一次性制备出保真性较好的微米级镀银图案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴仲岿	武汉理工大学材料科学与工程学院	36	207	8.0	12.0
2	杨军	武汉理工大学材料科学与工程学院	17	182	5.0	13.0
3	唐红肖	武汉理工大学材料科学与工程学院	2	8	2.0	2.0
4	李少英	武汉理工大学材料科学与工程学院	3	28	3.0	3.0