基于PERL技术的硅基PIN光电二极管的设计与仿真

• 作者: 刘锋 吕菲 耿博耘 韩焕鹏
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: PERL技术 硅基PIN光电二极管 SUPREM-Ⅳ模拟仿真
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 160-165
• 分类号: TN104.3
• 字数: 4309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2012.03.004

摘要

缺乏高质量的硅光电接受器件一直制约着全硅光电子回路的发展.分析讨论了PERL太阳能电池的高效光电特性技术,并将其应用于硅光电二极管,设计了一种高响应度,高截止频率的硅基PIN光电二极管的器件结构,说明了该结构的技术特点与制备工艺.使用SUPREM-Ⅳ仿真器对该器件进行了模拟仿真,讨论了I层的长度与厚度对器件性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕菲		24	88	6.0	8.0
2	韩焕鹏		28	43	4.0	5.0
3	刘锋		15	20	3.0	3.0
4	耿博耘		7	14	2.0	3.0