基于宽光谱的嵌入式膜厚监控系统

• 作者: 张沛强 王巧彬 罗宇强
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 宽光谱 嵌入式 膜厚监控
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 工业自动化
• 页码范围: 22-25
• 分类号: TP273
• 字数: 2294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2012.05.006

摘要

为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法.结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应用于光学镀膜工艺过程监控镀膜层厚度的监控系统.本系统能通过在薄膜生长过程中实时、高精度地测量其宽光谱特性,对镀膜过程进行自动控制.详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,实验结果表明,系统具有较高的监控能力,性能稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗宇强	广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室	20	87	6.0	8.0
2	王巧彬	广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室	12	57	4.0	7.0
3	张沛强	广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室	8	31	3.0	5.0