磁控溅射沉积V-Al-N涂层的结构和性能研究

• 作者: 朱萍 李胜祗 葛芳芳 黄峰
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 反应磁控溅射 V-Al-N涂层 微结构 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 46-48,73
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 1873字
• 语种: 中文

摘要

通过反应磁控溅射法制备了V1-xAlxN(0≤x≤0.67)涂层,研究了Al含量对涂层微观结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响.结果表明:在0≤x≤0.51范围内,随Al含量的增加,V1-xAlxN涂层的微观结构不断变得致密,硬度不断提高,其中结构最为致密的V0.49Al0.51N涂层的硬度较VN提高了近3倍;在较宽的成分区间内,V1-xAlxN涂层结构均比较致密,硬度大于30 GPa,最高硬度达到41 GPa;随着硬度的改善,V1-xAlxN涂层的摩擦磨损性能较VN涂层也有不同程度的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李胜祗		66	457	11.0	17.0
2	黄峰	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	36	194	7.0	12.0
3	葛芳芳	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	5	5	2.0	2.0
4	朱萍		4	6	2.0	2.0