单晶硅球密度的绝对测量

• 作者: 罗志勇
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 硅球密度 相移干涉法 阿伏加德罗常数
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 428-431
• 页数: 4页
• 分类号: TB932
• 字数: 2659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.05.10

摘要

单晶硅球密度的绝对测量是阿伏加德罗常数测量的关键技术.综述了单晶硅球密度测量的最新进展,包括硅球密度测量的技术原理、测量领域、影响因素、测量装置及最佳测量能力等等,分析了硅球密度测量的主要难点和关键技术,预测了相关研究的技术前景及发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗志勇		35	216	8.0	13.0