等离子增强磁控溅射沉积Ti(Al)基纳米复合涂层在铸铝模具上的应用

• 作者: 李灿民 魏荣华
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子增强磁控溅射 纳米复合涂层 显微组织 表面能 高温稳定性 铸铝模具
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 境外论文
• 页码范围: 1-7
• 分类号: TG174.444|TB33
• 字数: 4002字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2012.02.001

摘要

采用等离子增强磁控溅射技术在H13钢表面制备了TiSiCN、TiSiCON、TiAlSiCN、TiAlSiCON纳米复合涂层,使用扫描电子显微镜,原子力显微镜,X射线衍射仪等研究了涂层的组织和性能,主要讨论了Al、O元素对涂层的显微组织、表面能和高温稳定性的影响.试验结果显示:O元素的加入使涂层致密度降低、表面变得粗糙且产生了少量的柱状组织,但它的加入可以降低涂层的表面能;Al元素的加入能显著降低涂层的表面能,并能提高涂层的耐高温性能.这是因为涂层在高温下没有发生分解,且Al元素在高温下形成致密的氧化膜,阻止了涂层进一步氧化.低表面能、好的耐高温性能是便于铸铝模具脱模,延长其工作寿命最有效的性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李灿民		4	27	3.0	4.0