ZrCoRE吸气薄膜的膜层结构与性能研究

• 作者: 卜继国 尉秀英 张艳 杜军 毛昌辉
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: ZrCoRE 非蒸散型吸气薄膜 磁控溅射法 膜层结构 吸气性能
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 757-761
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2012.05.014

摘要

为了研究膜层结构对非蒸散型吸气薄膜性能的影响,运用射频磁控溅射法(RF magnetron sputtering)制备了ZrCoRE单层膜和双层膜,其中单层膜只含主体层,双层膜含有主体层和附着层.采用扫描电子显微镜( SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射法(XRD)表征了薄膜的形貌和结构,利用ASTM F798-97“动态法”测试了薄膜的吸气性能.结果表明,ZrCoRE薄膜的主体层在较高沉积压强(4 Pa)下受到原子阴影效应与沉积原子低迁移率的作用而形成柱状组织,附着层在较低沉积压强下(0.2 Pa)由于沉积原子迁移率高而形成致密组织,附着层的存在使主体层柱状组织实现连续生长；主体层表面为20 nm的颗粒无序堆积态,形成了大量的表/界面缺陷；通过高频感应在300℃下激活30 min,在2.7 ×10-4 Pa的H2压强下,薄膜的室温吸气速率在1～ 100 cm3·s - 1·cm-2范围内变化；双层膜吸气速率是单层膜的10倍,3h的吸气量达80 Pa·cm3 ·cm-2；吸气薄膜的大活性比表面积和高扩散速率,使其单位质量吸气量达104 Pa·cm3 ·g-1量级以上,高于块体吸气剂的103 Pa·cm3·g-1量级,附着层的存在提高了主体层的吸气性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜军		75	496	13.0	17.0
2	尉秀英		22	160	8.0	11.0
3	毛昌辉		60	564	12.0	21.0
4	张艳		12	32	3.0	4.0
5	卜继国		3	5	1.0	2.0