用双氧水方法提高单晶硅片制绒效果的研究

• 作者: 张闻斌 戴丽丽 李杏兵 杨乐 韩丽 高华
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 双氧水 单晶硅片 制绒
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 39-41
• 分类号: TM914.4
• 字数: 2220字
• 语种: 中文

摘要

介绍了在制绒前使用双氧水+低浓度碱液+超声的预清洗工艺的新方法.与常规的预清洗工艺相比,新的预清洗工艺避免了生产过程中的漂篮现象,改善了硅片表面的清洁质量,降低了表面微粗糙度.通过扫描电子显微镜(SEM)观察,使用双氧水预清洗后的制绒绒面金字塔尺寸小而均匀,反射率也有所降低.新预清洗工艺制绒后的硅片增加了对入射光的吸收,有利于提高电池短路电流,对提升电池光电转换效率有重要意义

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨乐		6	27	3.0	5.0
2	高华		11	60	5.0	7.0
3	张闻斌		3	10	2.0	3.0
4	戴丽丽		2	9	2.0	2.0
5	韩丽		1	2	1.0	1.0
6	李杏兵		2	4	2.0	2.0