低噪声电容式超声传感器的结构与电路设计

• 作者: 于峰崎 俞挺 彭本贤
• 来源期刊: 集成技术
• 关键词: CMUT Spice模型 低噪声
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 生物医学工程与生物医药
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 字数: 2682字
• 语种: 中文

摘要

本文提出了一种紧凑的可动浮栅型电容式超声传感器(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer,CMUT)器件结构和低噪声高频电路.该结构包含通常CMUT上下电极和MOS晶体管.建模对浮栅型CMUT器件进行了直流分析和时变电容的瞬态分析,模拟结果表明该传感器结构比传统CMUT具有更低的寄生电容和输出阻抗.在1.5Pa超声声压下进行Cadence和ANSYS仿真,输出信号为40.1 mV,在1 MHz等效输出噪声为16.59 nV/Hz1/2,直流增益为74.73dB,单位增益带宽为488 MHz.指标优于传统的CMUT结构,具有医学三维成像的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	俞挺	中国科学院深圳先进技术研究院	2	8	1.0	2.0
2	于峰崎	中国科学院深圳先进技术研究院	10	88	5.0	9.0
3	彭本贤	中国科学院深圳先进技术研究院	1	7	1.0	1.0