一种三明治结构透明导电薄膜的制备及光电性能

• 作者: 周继承 杨延林
• 来源期刊: 应用科技
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 透明导电薄膜 ZAO/Cu/ZAO多层膜 光电特性
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与化学
• 页码范围: 80-84
• 分类号: O484.4
• 字数: 2349字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-671X.201106012

摘要

采用直流磁控溅射法制备了ZAO/Cu/ZAO多层透明导电薄膜,研究了参铝氧化锌(ZAO)薄膜厚度对多层膜晶体结构和光电特性的影响.用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计及四探针对样品的晶体结构与光电性能等进行了表征,结果表明,多层膜的平均透过率最高达86％,方块电阻达9Ω/sq; ZAO膜层厚度对多层膜的导电性能影响很小,但严重影响可见光透过率；多层膜中的ZAO层仍呈ZnO晶态结构,且具有明显的c轴取向特征,这种三明治结构是一种性能优良的太阳能透明导电层候选材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周继承	中南大学物理科学与技术学院	96	780	15.0	21.0
2	杨延林	中南大学物理科学与技术学院	1	2	1.0	1.0