晶圆贴膜金刚刀划片工艺

• 作者: 张虹
• 来源期刊: 宁夏工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 金刚刀划片 UV膜
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TB556
• 字数: 2134字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7244.2012.01.014

摘要

为提高生产效率,降低人工劳动强度,在对比砂轮划片和金刚刀划片2种工艺方法优缺点的基础上,采用晶圆贴膜金刚刀划片的工艺方法,通过控制划片工艺过程各工艺参数,实现铌酸锂单晶的划片.该方法不但改善了划片的质量,而且提高了划片成品率.经批量生产实践证明,晶圆贴膜金刚刀划片工艺是可行的;对生产企业而言,可以在不购买其他设备的基础上,提高生产效率和划片成品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张虹		4	2	1.0	1.0