固态微波功率器件测试方法研究

• 作者: 王文娟 胡菊萍 项道才
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波功率器件 测试夹具 校准件 负载牵引系统 去嵌入
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与测试技术
• 页码范围: 974-978
• 分类号: TN307
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.12.015

摘要

固态微波功率器件由于其大功率、高频率、宽频带的特性,使其微波电参数的测试成为一大难点,特别是对非同轴、无内匹配的功率器件而言,微波参数的测量难度更大.介绍了固态微波功率器件测试的整体方案,针对某款SiC器件的尺寸及特性,设计制作了相应的测试夹具及校准件,利用矢量网络分析仪及阻抗调谐器搭建测试平台,通过负载牵引技术调整输入输出阻抗,并通过TRL校准技术消除夹具引入的误差,将被测端面移动到被测件的两端,得到被测器件的真实特性.经实验验证,在器件工作频率范围内测试系统的阻抗都能达到良好匹配,并得到被测器件的最佳性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡菊萍		4	14	2.0	3.0
2	项道才		4	19	2.0	4.0
3	王文娟		5	12	2.0	3.0