Er2O3阻氚涂层的化学溶液法制备研究

• 作者: 吕维玲 徐玮 曹江利 杨洪广 郑超 钱佳琪
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 化学溶液法 Er2O3 阻氚涂层
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.4|TL341
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.05.015

摘要

由于具有高的绝缘性和热力学稳定性,近年来氧化铒( Er2O3)作为一种新型的阻氚渗透涂层材料受到极大的研究重视.本文采用化学溶液法在316L不锈钢基体上制备了Er2O3阻氚涂层,研究了前躯体液pH值、浓度和晶化处理气氛对涂层结构和性能的影响.结果表明,前躯体液在pH值为7.6～7.8、浓度为0.4 mol/L进行涂覆并在空气气氛中进行晶化处理,可获得表面连续、致密的Er2O3阻氚涂层,涂层与基体的结合力达到7.8 N,涂层绝缘电阻率为106 Ω·m～109Ω·m,绝缘性能、抗热冲击性能良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨洪广		37	64	4.0	7.0
2	徐玮	北京科技大学新材料技术研究院	1	0	0.0	0.0
3	吕维玲	北京科技大学新材料技术研究院	3	1	1.0	1.0
4	郑超	北京科技大学新材料技术研究院	4	0	0.0	0.0
5	钱佳琪	北京科技大学新材料技术研究院	1	0	0.0	0.0
6	曹江利	北京科技大学新材料技术研究院	13	38	4.0	6.0