双光栅干涉位移传感器原理及其误差分析

• 作者: 刘晓军 张金华 陈良洲
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 双光栅干涉 位移测量 ZEMAX仿真 误差分析
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 41-45
• 分类号: TP212.14
• 字数: 2981字
• 语种: 中文

摘要

双光栅干涉位移传感器拥有量程大、精度高等优点.文中详细阐述了传感器的测量原理,并对此理论原理进行ZE?MAX软件仿真.与此同时,基于角谱理论推导得到干涉场中的光强分布.结果表明,激光通过双光栅后可以得到三角函数分布的干涉条纹,且双光栅相对移动一个光栅距离时条纹相应移动一个周期.最后分析了对双光栅传感器位移测量结果可能带来误差的因素,以及这些因素对测量结果的影响,文中给出了部分因素的误差表达式

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军	华中科技大学机械学院仪器系	60	357	11.0	15.0
2	张金华	华中科技大学机械学院仪器系	1	6	1.0	1.0
3	陈良洲	华中科技大学机械学院仪器系	11	95	6.0	9.0