基于GaAs MMIC技术的残余应力测试结构的模拟与设计

• 作者: 周易 廖小平 杨刚 肖建斌 蒋明霞
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs 残余应力 应力梯度 实验验证
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 897-901
• 分类号: TN301.1|TH140.7
• 字数: 2535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.07.006

摘要

残余应力对开关梁的力学特性有着重要的影响.梁的弹性系数k由梁的形状和材料特性(杨氏模量和残余应力)来决定.应力梯度会使悬臂梁发生卷曲,对k也会产生影响.由残余应力引起的梁的长度变化量在微米级别,一般实验仪器难于测量.基于GaAs基和Si基的器件残余应力不同,相应的测试结构需重新设计.为了克服这些问题,本论文重新模拟并优化了微旋转式残余应变测试结构,尽量简化对测试仪器的要求.本文使用Intellisuite仿真软件以及Matlab软件优化,同时采用对称式的结构增加了测试精度.最后本文还给出了应力梯度的测试方法.