激光场强分布对类金刚石薄膜激光损伤阈值的影响

• 作者: 吴慎将 施卫 苏俊宏
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 激光场强 损伤阈值 等离子体吸收
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 45-48
• 分类号: O484.5
• 字数: 2531字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4710.2012.01.008

摘要

采用非平衡磁控溅射技术,在双面抛光的硅基底上沉积了DLC薄膜,基于ISO11254-1损伤测试平台对DLC薄膜进行了损伤阈值测试；计算了DLC薄膜激光场强及温度场分布,对比了激光场强与损伤阚值的关系.计算结果显示:薄膜表面激光场强增大,DLC薄膜的激光损伤阚值变低；激光场强相等时,随着薄膜厚度增加,激光损伤阚值变小.分析认为:薄膜表面激光场强增大后,激光与DLC薄膜相互作用,产生的等离子体加剧薄膜对激光能量的吸收并产生热累积,激光场强诱导sp3杂化向sp2杂化转变,致使DLC薄膜发生石墨化,从而影响了DLC薄膜的激光损伤阈值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施卫	西安理工大学理学院	85	925	17.0	25.0
2	苏俊宏	西安工业大学光电工程学院	111	496	12.0	16.0
3	吴慎将	西安理工大学理学院	3	13	2.0	3.0