激光驱动飞片中Al2O3隔热层的制备研究

• 作者: 叶迎华 吴立志 沈瑞琪 胡艳 陈少杰
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 激光驱动飞片 Al2O3隔热层 制备 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 15-17
• 分类号: TJ450.4
• 语种: 中文

摘要

为了在飞片靶中加入氧化铝隔热层,以提高飞片速度,增大飞片冲击炸药的压力,确保炸药的可靠起爆,利用真空射频磁控溅射法制备了激光驱动复合多层飞片靶中的Al2O3隔热层,在溅射功率238W、溅射气压0.4Pa、Ar气流量30sccm、靶基距11cm条件下,得到Al2O3薄膜的沉积速率为125nm/h,制备的Al2O3薄膜为非晶结构,其表面均匀、致密,没有孔洞等缺陷,为后续复合多层飞片靶的制备提供支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶迎华	南京理工大学化工学院	123	751	15.0	19.0
2	沈瑞琪	南京理工大学化工学院	171	1017	16.0	20.0
3	胡艳	南京理工大学化工学院	56	350	11.0	15.0
4	吴立志	南京理工大学化工学院	42	141	6.0	9.0
5	陈少杰	南京理工大学化工学院	4	17	3.0	4.0