Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面反射镜

• 作者: 卢文川 张学军 张忠玉 张金平 王孝坤 郑立功
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 离轴非球面 Shack-Hartmann波前传感器 干涉测量 轮廓测量
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 410-414
• 分类号: TB96
• 语种: 中文

摘要

在离轴非球面反射镜研磨后期和粗抛光阶段,被测反射镜面形与理想面形存在着较大的偏差,表面反射率较低,采用干涉测量会因局部区域干涉条纹过密或条纹对比度过低,造成普通干涉仪无法进行全口径测量,而普通接触式轮廓仪测量精度此时已经不能满足加工要求.鉴于Shack-Hartmann波前传感器较大的动态范围和较高的测量精度,提出了采用Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面面形,研究了该方法的检测原理并搭建了检测系统,分析了系统误差来源,并制作了用于在轴检测离轴非球面的参考波前,对两个不同加工精度的离轴非球面反射镜进行了测量,并与干涉仪的测量结果进行了对比.对比结果表明,Shack-Hartmann波前传感器的测量结果是正确可靠的,并且可以弥补轮廓仪测量和干涉仪测量的不足,从而证明了采用Shack-Hartmann波前传感器在轴检测离轴非球面的可行性和正确性.