铀表面脉冲辉光等离子氮化初步研究

• 作者: 王小红 钟永强 陈林 龙重
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 铀 脉冲辉光等离子体 离子氮化 U2N3
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.04.011

摘要

采用脉冲辉光等离子体离子氮化技术对贫铀表面进行了氮化处理,采用俄歇电子能谱( AES)对氮化层进行元素深度剖析,采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对氮化层组织结构进行了分析表征.结果表明:脉冲偏压-900 V,工作氮分压50 Pa、100 Pa,氮化时间2.5 h～4 h下在贫铀表面能获得约20 μm厚的氮化层,氮化层为U2N3的单一立方结构且均匀致密,脉冲辉光等离子氮化技术能在贫铀表面实现氮化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林		55	229	8.0	13.0
2	钟永强		7	12	2.0	3.0
3	龙重		4	1	1.0	1.0
4	王小红		2	1	1.0	1.0