电子束蒸发制备掺钕钇铝石榴石薄膜特性研究

• 作者: 任豪 周应恒 庞振华 曾群 梁锡辉
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 掺钕钇铝石榴石 电子束蒸发 光致发光
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 激光材料与光学元件
• 页码范围: 450-452
• 分类号: O484.4
• 字数: 1326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.04.005

摘要

硅基光电集成技术是当代高速信息化的重要发展方向之一.为了研究制备在硅衬底上的新型发光材料,突破Nd∶YAG固体激光工作物质主要是晶体、透明陶瓷等固体形态的限制,采用电子束蒸发沉积工艺,在硅(100)衬底上制备了Nd∶ YAG薄膜,并对Nd∶YAG薄膜的表面形貌、晶体结构、光学特性进行了测试.X射线和扫描电子显微镜测试结果显示,Nd∶YAG薄膜经1100℃真空高温退火处理1h后有效结晶,采用钛蓝宝石激光器输出808nm激光激发,液氮冷却的InGaAs阵列探测器室温下得到Nd∶YAG薄膜的1064nm主荧光峰的荧光光谱.结果表明,采用电子束蒸发沉积和后续高温退火工艺可以在硅衬底上制备Nd∶YAG晶体薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任豪	华南师范大学信息光电子科技学院	35	185	8.0	12.0
3	庞振华		17	106	5.0	10.0
4	梁锡辉		6	58	2.0	6.0
7	曾群	华南师范大学信息光电子科技学院	14	35	4.0	5.0
8	周应恒	华南师范大学信息光电子科技学院	1	1	1.0	1.0