大口径非球面主反射镜的装调方法研究

• 作者: 张钧 段嘉友 韩娟
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径 非球面 面形检测 装调过程
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 光电系统与工程
• 页码范围: 490-495
• 分类号: TN206|TH74
• 字数: 3621字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201233.0301009

摘要

针对大口径非球面主反射镜(简称主镜)的装调要求,对比分析常用大口径非球面面形检测方法,提出该类主镜检测面形的最佳方案.在主镜的装调过程中,通过对主镜的固定方式和主镜变形补偿这2个关键环节的阐述,总结主镜固定的难点及主镜变形的原因,提出一套全新的装调方案,以旋转消重力法进行检测,并用专用工装实时定心调节,再用辅料焊接法固定主镜与中心轴,最后采用辅助支撑对主镜组件进行最终固定修正.装调结果表明:对于大口径非球面反射镜,装调完成后的主镜面形精度Rms≤0.03λ(λ=632.8 nm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩娟	中科院西安光学精密机械研究所	1	15	1.0	1.0
2	段嘉友	中科院西安光学精密机械研究所	2	31	2.0	2.0
3	张钧		1	15	1.0	1.0