硅片多线切割机轴承箱组合密封设计

• 作者: 周木林 欧阳桥桢 胡根平
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片切割 砂浆 轴承箱 密封
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 解决方案
• 页码范围: 115-117
• 分类号: TH136
• 字数: 3849字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2333.2012.10.056

摘要

针对硅片多线切割机的工作特点,对轴承箱的密封问题进行了分析,并创造性地运用组合密封方案,有效地解决了硅片多线切割机轴承箱密封的难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周木林		3	2	1.0	1.0
2	欧阳桥桢		1	2	1.0	1.0
3	胡根平		1	2	1.0	1.0