CVD金刚石薄膜技术发展现状及展望(上)

• 作者: 杨德威 栗正新 苑执中
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超纳米金刚石膜 CVD金刚石大单晶 综述
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 产业与综述
• 页码范围: 44-48
• 分类号: TQ164
• 字数: 2650字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2012.02.011

摘要

简要描述了CVD金刚石薄膜技术的发展历程.介绍了纳米特别是超纳米金刚石膜、CVD金刚石大单晶的技术特点及其应用.超纳米金刚石膜在MEMS(微机电系统)、电化学和生物医学上的应用和CVD金刚石大单晶是当前的研究热点.简言之,金刚石的发展向着更大或者更小的方向深入进行,即“非大即小”.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗正新	河南工业大学材料科学与工程学院	73	239	7.0	10.0
2	杨德威	河南工业大学材料科学与工程学院	3	18	3.0	3.0
3	苑执中	河南工业大学材料科学与工程学院	3	15	2.0	3.0