一种精密测量显示控制系统的设计

• 作者: 何伟明 郭嘉昒 钟伦超
• 来源期刊: 木材加工机械
• 学科: 工学
• 关键词: 精密测量 光栅尺 微动平台 反馈控制 设计
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 19-21,39
• 页数: 4页
• 分类号: TS642|TP212.1
• 字数: 1789字
• 语种: 中文

摘要

精密测量技术是精密工程领域的一项重要研究内容.本文利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制.为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反馈系统,测量软件上进行闭环,一键设定到位,精度能达到0.2μm,适合于各种单自由度或多自由度小载荷精密移动领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭嘉昒		25	54	5.0	5.0
2	何伟明		9	30	3.0	5.0
3	钟伦超	清华大学精密仪器与机械学系	3	2	1.0	1.0