AIN薄膜对太阳能吸收率的研究

• 作者: 丁迪 侯晓多 冯煜东 张贵锋
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 物理气相沉积 AlN薄膜 选择性吸收膜
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 68-72
• 分类号: TB43
• 字数: 3486字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0096.2012.01.012

摘要

采用磁控溅射方法,在高纯氩气和氮气混合气氛下成功制备出Al(W)-AlN系太阳能选择性吸收薄膜.借助吸收光谱分析,比较了Al、W两种反射层材料上制备单层AlN和多层AlN薄膜的光谱吸收特性.结果表明:多层AlN薄膜比单层AlN薄膜的吸收性能好；W比Al更适合做反射面材料,W-渐变型多层AlN膜系对太阳能的吸收率可达到80％以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张贵锋	大连理工大学三柬材料改性实验室材料科学与工程学院	17	107	6.0	9.0
2	侯晓多	大连理工大学三柬材料改性实验室材料科学与工程学院	14	60	5.0	6.0
3	丁迪	大连理工大学三柬材料改性实验室材料科学与工程学院	1	6	1.0	1.0