静电悬浮微加速度计气膜阻尼分析

• 作者: 何志坚 张龙 邓忠武 马高印
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 静电悬浮 微加速度计 气膜阻尼
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 52-55
• 分类号: U666.12+2
• 字数: 2365字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2012.03.012

摘要

气膜阻尼对静电悬浮微加速度计系统的动态特性有着重要的影响.本文首先根据流体力学理论,构建了描述微加速度计内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程和描述微加速度计内部气体滑膜阻尼特性的线性Navier-Stokes方程,推导出悬浮质量块在轴向和径向运动时的气膜阻尼系数,并进行比较.然后采用ANSYS软件进行仿真分析,结果表明,解析误差在10％以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马高印		8	13	2.0	2.0
2	何志坚		5	7	1.0	2.0
3	邓忠武		9	13	2.0	3.0
4	张龙		2	1	1.0	1.0