SrTiO3薄膜制备技术研究进展

• 作者: 刘剑 李悦 王伟志 董秀珍 郝斌
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 物理学
• 关键词: SrTiO3薄膜 制备 进展
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1185-1189
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 5098字
• 语种: 中文

摘要

拥有众多优良性能的SrTiO3薄膜已经受到了人们的广泛关注.本文首先对SrTiO3薄膜的性质和应用进行了简单介绍,然后从物理和化学两大类方法着重对其现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,文章最后对SrTiO3薄膜的制备及器件研究领域进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董秀珍	唐山学院环境与化学工程系	24	95	6.0	8.0
2	刘剑	唐山学院环境与化学工程系	22	52	5.0	6.0
3	郝斌	唐山学院环境与化学工程系	54	224	9.0	12.0
4	李悦	唐山学院环境与化学工程系	25	73	6.0	7.0
5	王伟志	唐山学院计算机科学与技术系	8	8	1.0	2.0