Z轴完全差分电容式加速度传感器设计分析

• 作者: 许高斌 陈兴 韩成成
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式 加速度传感器 完全差分 交错梳齿 扭转
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 796-801
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.12.006

摘要

设计了一种Z轴完全差分电容式加速度传感器,交错梳齿、两组对称可动梳齿通过挠性梁连接在固定衬底上,对称布局使结构稳定并解决了X和Y轴向对Z轴向加速度检测的耦合干扰.对传感器在敏感方向加速度作用下的偏转特性进行分析,给出了相关理论模型并对其求解.对传感器在非敏感方向加速度作用下的扭转变形进行分析,计算该扭转对Z轴检测产生的干扰与结构之间的关系.通过结构的优化设计,使传感器在设计的量程范围内达到最佳检测效果.利用ANSYS进行模拟分析,得到该传感器的灵敏度为0.31 fF/g,验证了本设计分析的合理性、可行性和精确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴	合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心	21	120	7.0	10.0
2	许高斌	合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心	22	140	7.0	11.0
3	韩成成	合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心	2	11	2.0	2.0