钌金属溅射靶材烧结工艺研究

• 作者: 丁照崇 何金江 江轩 王欣平 罗俊锋 董亭义
• 来源期刊: 粉末冶金工业
• 学科: 工学
• 关键词: 钌 溅射靶材 热压烧结 放电等离子烧结 直接热压
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与评述
• 页码范围: 28-31
• 分类号: TF046.4
• 字数: 2208字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6543.2012.01.005

摘要

采用热压、放电等离子烧结及直接热压等粉末冶金工艺制备了钌金属溅射靶材,通过对致密度、晶粒度与氧含量分析研究了工艺过程对钌金属靶材制备的影响,并对比分析了三种方法制备钌靶的特点.结果表明:通过工艺优化利用三种方法均能制备出相对密度达到99％以上的高密度钌靶；随着制备温度的升高,钌靶氧含量降低,晶粒尺寸增大；热压工艺制备周期最长,钌靶表面有晶粒粗大层；放电等离子烧结与直接热压工艺都具有快速、近净成形的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何金江		10	63	5.0	7.0
2	王欣平		15	69	5.0	8.0
3	江轩		7	40	3.0	6.0
4	丁照崇		3	11	1.0	3.0
5	罗俊锋		5	13	2.0	3.0
6	董亭义		6	33	4.0	5.0