高灵敏度宽频带阵列式仿生矢量水听器研究

• 作者: 刘林仙 宋小鹏 张国军 薛晨阳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高灵敏 宽频带 阵列式 仿生 矢量水听器 频响 指向性
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 790-795
• 分类号: TB565.1|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.12.005

摘要

针对MEMS仿生矢量水听器灵敏度和频带相互制约,不能同时满足宽频带高灵敏度测量的问题,在单个MEMS矢量水听器的基础上,设计了由四个单元构成的2×2单片集成微敏感结构阵列,实现了水听器的高灵敏度和宽频带.通过理论分析和ANSYS仿真分析,确定阵列微结构的尺寸,采用硅微机械加工工艺完成了阵列微结构的加工,最后在水声一级计量站对封装好的水听器进行了灵敏度和指向性校准测试.测试结果表明:该阵列式仿生矢量水听器未加前置放大时灵敏度达到-189 dB,频响范围20～5 000 Hz,具有良好的“8”字型指向性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
5	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
9	宋小鹏	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	19	57	4.0	6.0
13	刘林仙	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	21	2.0	3.0