直流溅射掺杂Pt的SnO2薄膜气敏特性

• 作者: 8 余建立 傅刚 洪求三
• 来源期刊: 复旦学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2薄膜 Pt掺杂 乙醇 气敏性能
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 344-348
• 分类号: TN304
• 语种: 中文

摘要

采用非醇盐溶胶-凝胶工艺在Al2O3基片上旋转涂敷制备掺杂Sb的SnO2薄膜,再经直流溅射制得表面掺杂Pt的Sb∶SnO2薄膜,测试了薄膜对乙醇、汽油、苯、二甲苯、甲苯、丙酮和NH3气体的气敏性能,探讨了不同Pt掺杂量对乙醇气敏性能的影响.结果表明,Pt的溅射时间为90 s时,元件对50×10^-6乙醇气体的灵敏度高达43,且薄膜具有较好的响应-恢复特性,其响应时间和恢复时间均为6 s.选择性研究表明,薄膜在加热温度为280℃时,具有很好的酒敏特性和选择性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅刚	广州大学物理与电子工程学院	53	174	8.0	11.0
2	余建立	巢湖学院电子工程与电气自动化学院	22	47	5.0	5.0
3	洪求三	巢湖学院电子工程与电气自动化学院	5	2	1.0	1.0
4	8	巢湖学院电子工程与电气自动化学院	1	0	0.0	0.0