基于亚波长金属光栅的980nm高功率垂直腔面发射激光器偏振控制

• 作者: 刘云 宁永强 张祥伟 王立军 秦莉
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 金属光栅 偏振控制
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1012-1017
• 分类号: TN248.4
• 字数: 3326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20123309.1012

摘要

利用制作在P-DBRs表面的亚波长金属光栅,在980 nm高功率底发射垂直腔面发射激光器有源区引入各向异性增益,达到了偏振控制的目的.本光栅基于等效介质理论和抗反射理论设计而成,光栅周期为186 nm,占空比为0.5.通过多物理场有限元分析软件对所设计的光栅进行了模拟分析,结果基本上符合设计要求.通过优化工艺步骤得到了较好的实验结果,550 μm孔径的VCSEL在正交方向上的偏振比为3,输出功率达到870 mW.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张祥伟	发光学与应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	14	3.0	3.0
3	宁永强	发光学与应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	8	2.0	2.0
6	秦莉	发光学与应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	6	1.0	1.0
7	刘云	发光学与应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	6	1.0	1.0