n-SiO2/BGF和PEi-BGF/SiO2两类复合磨粒及抛光液对硅的抛光性能影响

• 作者: 姚伟强 游红武 许雪峰 黄亦申
• 来源期刊: 轻工机械
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 抛光液 复合磨粒 硅片
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 新设备·新材料·新方法
• 页码范围: 73-76
• 分类号: TH117
• 字数: 3663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2895.2012.03.020

摘要

以苯代三聚氰胺甲醛(BGF)微球为内核,用阳离子型聚电解质PDADMAC、阴离子型聚电解质PSS为表面改性剂,利用静电层层自组装技术,制备出不同包覆结构的n-SiO2/BGF和PE1-BGF/SiO2复合磨粒.利用TEM表征两类复合磨粒的吸附情况,并与传统单一SiO2磨粒抛光液、BGF+ SiO2混合磨粒抛光液进行实验比较.通过聚合物表面的交替吸附层数、游离磨粒浓度对比两种复合磨粒抛光液对抛光的影响.抛光试验表明,复合磨粒抛光液的材料去除能力明显优于单一磨粒抛光液和混合磨粒抛光液；在两类复合磨粒抛光液对比中,当SiO2磨粒质量分数为5％时,3-SiO2/BGF和PE5 -BGF/SiO,复合磨粒抛光液材料去除率达到最大值,分别为369 nm/min和361 nm/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	游红武	浙江工业大学机械工程学院	11	64	5.0	7.0
2	姚伟强	浙江工业大学机械工程学院	4	5	2.0	2.0
3	黄亦申	浙江工业大学机械工程学院	7	43	3.0	6.0
4	许雪峰	浙江工业大学机械工程学院	26	247	8.0	15.0