Zn掺杂Z形GaN纳米线的制备及表征

• 作者: 刘海瑞 张华 梁建 王晓宁 王晓斌 许并社
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 纳米线 Zn掺杂 化学气相沉积 发光性能
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 36-41,46
• 分类号: TN304.23
• 字数: 3596字
• 语种: 中文

摘要

本文以氧化镓、氧化锌和氨气为原料,通过常压化学气相沉积法(APCVD)在Au/Si( 100)衬底上成功生长出了Zn掺杂的”Z”形GaN纳米线.利用场发射扫描电镜(FESEM)、X-射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、光致发光谱(PL)等测试方法对样品的形貌、晶体结构及光学性质进行了表征.结果表明:在温度为950℃,氧化镓和氧化锌的质量比为8∶1的条件下,制备出的Zn掺杂Z形GaN单晶纳米线直径为70 nm、长度为数十个微米,生长机理遵循VLS机制.Zn元素的掺杂使GaN纳米线在420nm处出现了光致发光峰,发光性能有所改善.