MEMS微变形镜测试技术及算法研究

• 作者: 肖风华 陈家凤
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 微变形镜 频闪成像 亚像素定位 5步相移干涉 相位解缠
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 光学测量、信息光学与图像处理
• 页码范围: 185-190
• 分类号: TN247
• 语种: 中文

摘要

介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量.采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像素定位技术实现了对平面内微位移的测量；利用频闪成像以及5步相移干涉技术实现了对干涉相位的提取,建立了适合于MEMS微变形镜特性测试的相位解缠算法,恢复了代表被测物体表面形貌的真实相位,实现了微变形镜静动态特性的测试.测试结果表明:频闪显微相移干涉测量技术具有测量速度快、精度高、易实现自动控制等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈家凤	中南民族大学电子信息工程学院	18	151	7.0	11.0
2	肖风华	中南民族大学电子信息工程学院	3	12	2.0	3.0