CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器的设计

• 作者: 刘谨 明安杰 欧文 郭涛 高璇
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热电堆 红外探测器 CMOS兼容 谐振腔 TiN
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 页码范围: 535-540
• 分类号: TN215
• 字数: 1968字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种与 CMOS 工艺兼容、高响应率、低噪声的微机械热电堆红外探测器.该结构热电偶数目为两对,材料为P/N型多晶硅,吸收层材料为TiN.采用较少热电偶对的方式来降低噪声,引入共振谐振腔结构来提高红外吸收率.阐述了探测器的基本工作原理,通过仿真得到其重要的性能参数,并给出了器件具体的工艺流程,对器件尺寸进行了优化.理论上,其响应率大于1000 V/W,探测率大于2×108 cmHz1/2W-1,噪声等效温差小于20 mK,时间常数小于10 ms,电阻值小于20 k?.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭涛	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室中北大学电子科学与技术系	86	454	11.0	15.0
2	欧文		3	2	1.0	1.0
3	高璇	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室中北大学电子科学与技术系	1	2	1.0	1.0
4	明安杰		1	2	1.0	1.0
5	刘谨		1	2	1.0	1.0