单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析

• 作者: 刘俊 唐军 李科杰 石云波 赵锐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 三轴 大量程 MEMS
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1236-1241
• 分类号: TP212
• 字数: 2959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.09.012

摘要

对设计的单片三轴MEMS大量程加速度传感器进行了马歇特锤冲击测试和Hopkinson杆冲击校准试验,得到了三轴加速度传感器冲击过载信号及其各轴向的横向灵敏度比、线性度等关键参数.测试结果表明该三轴传感器在受到117 395.95gn以上的冲击信号作用时,传感器各轴仍然能够正常工作；其三轴轴向灵敏度均能达到0.1 μV/gn以上,各敏感轴受到轴向加速度时其线性度小于6％,轴间横向灵敏度比小于10％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	北京理工大学机电工程学院	108	610	14.0	20.0
4	李科杰	北京理工大学机电工程学院	109	1207	18.0	30.0
5	唐军	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	64	114	5.0	9.0
6	赵锐	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	9	61	4.0	7.0