涡轮分子泵特性及磁悬浮技术的应用

• 作者: 卢金丽 杨实禹 胡志勇
• 来源期刊: 通用机械
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 抽速 压缩比 磁悬浮轴承
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 通用机械制造
• 页码范围: 86-89
• 分类号: TH38
• 字数: 2598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7139.2012.01.026

摘要

分子泵作为获得真空环境的核心设备,在半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域有着广泛的应用前景.介绍了涡轮分子泵的工作原理与基本结构特征、重点阐述了牵引式、涡轮式与复合式三种分子泵的结构、材料与性能特征,最后给出了基于磁悬浮技术的高转速涡轮分子泵承载力计算方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡志勇		87	263	9.0	11.0
2	卢金丽	沈阳第一机床厂技术部	3	4	1.0	2.0
3	杨实禹		2	3	1.0	1.0