探讨电弧离子镀中“大颗粒”净化方法

• 作者: 胡双丽
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 "大颗粒"污染 脉冲电弧源 磁过滤 脉冲偏压
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 分类号: TB79|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.04.019

摘要

传统电弧离子镀存在着大颗粒污染、沉积温度相对较高和易引发微弧击穿效应等诸多不足,制约其在精细薄膜、低温沉积和功能薄膜等方面的应用.本文简要介绍了电弧离子镀中大颗粒的形成机理,旨在探讨用磁场控制、脉冲电弧、磁过滤及脉冲偏压等方法来减少大微粒污染及其作用机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡双丽		3	2	1.0	1.0