EI-5Z电子束镀膜机膜厚控制的改善

• 作者: 臧成东
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜均匀性 调整板 批量生产
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 1901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.05.014

摘要

分析了EI-5Z型电子束镀膜机膜厚控制的特点.借助试验结果和理论研究,重新设计了更具实用性的调整板,得到了更好的薄膜性能:基片内偏差在±3％范围内,同一批次基片之间偏差在±5％范围内.满足了批量生产的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	臧成东		1	0	0.0	0.0