基于Pt电极的TiO2紫外探测器研究

• 作者: 刘彩霞 张海峰 李福民 沈亮 解天骄 郭文滨 阮圣平
• 来源期刊: 吉林大学学报（信息科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外探测器 纳米TiO2 MSM
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 信息与通信工程
• 页码范围: 116-119
• 分类号: TN23
• 字数: 2004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5896.2012.02.002

摘要

针对宽禁带半导体紫外探测器响应不够灵敏和响应度偏低等问题,将具有高功函数的Pt电极引入TiO2紫外探测器,采用溶胶凝胶法制备了纳米TiO2薄膜.以金属Pt为电极,采用磁控溅射的方法,将Pt电极溅射在TiO2纳米薄膜上,制作了MSM (Metal-Semiconductor-Metal)型紫外探测器件.在5V偏压下,探测器的暗电流为4.5 nA,260 nm波长光照下的光电流为5.7 μA.在260 nm的紫外光照射下,探测器的响应度达到最大值,约为447 A/W,与其他紫外探测器(200 A/W左右)的响应度均值相比有了很大的提升.最后,设计外围电路,制作出功能完整的紫外强度测试仪.实验表明,该探测器成功地解决了传统宽禁带半导体紫外探测器灵敏度及响应度偏低等问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海峰	吉林大学电子科学与工程学院	51	278	9.0	15.0
2	刘彩霞	吉林大学电子科学与工程学院	33	129	6.0	9.0
3	解天骄	吉林大学电子科学与工程学院	3	2	1.0	1.0
4	郭文滨	吉林大学电子科学与工程学院	18	38	3.0	5.0
5	阮圣平	吉林大学电子科学与工程学院	29	384	10.0	19.0
6	沈亮	吉林大学电子科学与工程学院	8	8	2.0	2.0
7	李福民	吉林大学电子科学与工程学院	2	2	1.0	1.0