基于近似模型的y轴微机械陀螺系统级优化

• 作者: 何洋 吕湘连
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 系统级 近似模型 优化 微机械陀螺
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 329-332
• 分类号: TH701
• 字数: 2653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.03.010

摘要

提出一种基于近似模型的MEMS系统级优化方法,给出具体实现流程,并结合一个y轴微机械陀螺进行优化.该方法解决了如何得到近似优化目标函数表达式的关键问题.所得的y轴微机械陀螺优化参数,使得陀螺驱动模态谐振频率fx和检测模态谐振频率fz分别为3074 Hz和2998 Hz,两者之间相差76 Hz,较好的实现了模态匹配,且都在3000 Hz的设计要求附近,约束条件也得到了满足.该优化方法为在MEMS设计中快速获得系统级优化方案提供较好参考.