高阻p型硅大面积四象限探测器的研制

• 作者: 向勇军 李作金 黄烈云
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 高阻p型硅 四象限探测器 串扰
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 364-366
• 分类号: TN364.2
• 语种: 中文

摘要

采用PIN结构,研制出高阻p型硅大面积四象限探测器。详细介绍了器件结构设计和制作工艺。对器件响应时间、象限串扰、暗电流和响应度等参数进行了计算与分析。实验结果表明,器件响应度达到0.45A/W（λ=1.06μm）,暗电流小于50nA（Vr=135V）,象限间串扰低于2.5%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向勇军		9	70	5.0	8.0
2	黄烈云		11	66	4.0	8.0
3	李作金		3	5	1.0	2.0