薄膜材料的制备方法

• 作者: 张美芳 林飞
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜材料 制备方法
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 77-77,92
• 分类号: TQ
• 字数: 3046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1865.2012.01.041

摘要

文章详细介绍了薄膜材料制备的各种方法,包括真空蒸发法、真空溅射法、脉冲激光沉积法、分子束外延法、化学气相沉积法、化学浴沉积法、电沉积法、溶胶一凝胶法、连续离子层吸附与反应法、分子自组装技术法、模板合成法、溶剂热法。