地震勘探用电容式闭环微加速度计的仿真

• 作者: 刘建生 李礼 杨帆 谌贵辉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 加速度传感器 闭环系统 仿真 地震勘探
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 108-112
• 分类号: TH703
• 字数: 1206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.02.007

摘要

MEMS加速度传感器大幅提高了新型地震检波器的各项性能指标.利用有限元软件AN-SYS建立了悬臂硅梁的力学模型,并通过其力学性能仿真,得出优化的设计结构尺寸,即梁长L=150μm,梁宽b=40μm,梁厚h=4μm,活动电极和固定电极的间距d0取为1μm.同时利用电路仿真软件建立了传感器闭环系统的整体仿真数学模型,仿真结果表明其阶跃响应和正弦响应基本和理论分析结果吻合,传感器的分辨率可达0.001m/s2,频带宽度可达500MHz.该基于MEMS加速度传感器的新型地震检波器在地震勘探中将具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建生	西南石油大学电子信息工程学院	10	24	2.0	4.0
2	李礼	西南石油大学电子信息工程学院	4	17	2.0	4.0
3	谌贵辉	西南石油大学电子信息工程学院	44	141	7.0	8.0
4	杨帆	西南石油大学电子信息工程学院	11	23	3.0	4.0