ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究

• 作者: 夏洋 孙小孟 李勇滔 李英杰 李超波 秦威 赵章琰 陈盛云
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 射频阻抗匹配器 阻抗匹配网络 ALD ADS
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 电子技术
• 页码范围: 202-203,206
• 分类号: TN710-34
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2012.03.058

摘要

阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案.利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法.经实验验证,该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配.