基于SU-8的微透镜阵列的设计和制作

• 作者: 刘建林 季长红 崔敏 张剑 张斌珍
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜阵列 SU-8 光刻工艺 斜曝光 系统集成
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 187-191
• 分类号: TH703
• 字数: 2509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.03.009

摘要

以SU-8作为结构材料,采用紫外光刻工艺,尤其以斜曝光工艺为主,加工出主光轴平行于衬底基片的微透镜阵列,单个微透镜的直径大约为500 μm.初步确定出加工此透镜所需要的曝光剂量、前烘时间、后烘时间和显影时间,为加工其他尺寸的透镜提供参考.基于此方法加工的微透镜阵列能够对光束进行聚焦、反射、衍射、相位调制等控制,从而可最终实现光开关、衰减、扫描和成像等功能,为其他微型光学器件,如分光镜和反射镜等的系统集成提供极大的便利.同时,此微透镜阵列也会被集成在微流细胞仪中用来对流式细胞仪中样本流做荧光检测,极大地提高了检测的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	中北大学电子测试技术重点实验室	107	535	12.0	18.0
5	张剑	中北大学电子测试技术重点实验室	4	18	2.0	4.0
9	崔敏	中北大学电子测试技术重点实验室	19	102	7.0	9.0
13	刘建林	中北大学电子测试技术重点实验室	3	15	2.0	3.0