压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法

• 作者: 任天令 刘理天 张兆华 林惠旺 韩锐锐
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 灵敏度 线性度 压阻式压力传感器 有限元分析(FEA) 路径积分
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 96-101,123
• 分类号: TP212
• 字数: 3088字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.02.005

摘要

灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标.为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法.提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法,从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真.实验结果验证了该方法的精确性:传感器样品的灵敏度测试值为42.462～44.460 mV/MPa,与仿真值之间的相对误差控制在3.3％以下,同时得到非线性低于0.16％的良好线性度以满足应用需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所清华信息科学与技术国家实验室	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所清华信息科学与技术国家实验室	87	600	13.0	19.0
3	张兆华	清华大学微电子学研究所清华信息科学与技术国家实验室	21	150	8.0	11.0
4	林惠旺	清华大学微电子学研究所清华信息科学与技术国家实验室	18	150	8.0	11.0
5	韩锐锐	清华大学微电子学研究所清华信息科学与技术国家实验室	1	17	1.0	1.0