基于有限元法的MEMS加速度计热应力分析

• 作者: 吴昌聚 游侠飞 郑阳明 金仲和
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 有限元法 电容式加速度计 热应力
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 193-197
• 分类号: TN405
• 字数: 3056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.02.010

摘要

残余应力对MEMS器件的力学性能、可靠性和寿命都有较大的影响.基于MEMS电容式加速度计,采用热结构耦合场分析方法,对热应力的影响进行了仿真分析,并和实验结果进行比较.结果表明热应力不是影响器件性能的主要因素,而仿真模型中未考虑到的一些物理因素和工艺误差则可能是主要因素.针对课题组加速度计的制备过程从工艺的角度提出了相应的改进措施,为加速度计温度补偿模型的完善以及改版设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程学系	144	1047	18.0	25.0
2	吴昌聚	浙江大学航空航天学院	18	111	6.0	10.0
3	郑阳明	浙江大学航空航天学院	22	184	8.0	12.0
4	游侠飞	浙江大学信息与电子工程学系	1	16	1.0	1.0